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的SEM开始于电子源,其中电子被通过加热源,这在我们的情况下是长寿命CeB6发射。电子被发射,并且所产生的电子束通过所谓的SEM柱引导。通过移动在x方向和y方向的电子束,它扫描样品的表面上。
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