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电子束和样品之间的相互作用产生的电子和X射线。电子可以反向散射电子(基本上是从光束超生电子)和二次电子,它们是那些在样品的表面上正在“敲除”,由电子束之间进行区分。通过特定的检测器,这些电子可被转换成其被示出为灰度值的信号。当扫描发生器的样品的表面上进行扫描,将创建的图像。
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